半導体業界は精密プロセスに依存しており、汚染に対する許容度が非常に低いため、製造が行われる場所には超クリーンな環境が必要です。したがって、汚染を最小限に抑えるのに役立つ材料の使用が不可欠です。その結果、半導体業界では、ウェットプロセス機器、流体輸送システム、およびウェーハ処理ツールに Everflon™ フッ素ポリマーが使用されています。Everflon™ フッ素ポリマーは、エッチングプロセスで使用される強力な化学物質に耐えることができる、浸出物含有量が非常に低い超高純度タイプを使用するプロセスの流体処理部分に使用されます。粒子、金属汚染物質、およびシール劣化によるガス放出による汚染を減らすことは、半導体製造業者の主な目標です。
高純度 PFA は、製造に使用される流体を超純粋に保つためにも必要です。これにより、ウェーハが大きくなって、半導体製造における生産歩留まりが向上するため、マイクロチップや LED がますます改良され、手頃な価格になります。
さらに、処理エリアでクリーンな雰囲気を維持する必要があるため、Everflon™ フッ素ポリマー膜を使用した高性能フィルターを使用する必要があります。これにより、粒子、化学物質、金属（配管やその他の機器などから）による汚染が最小限に抑えられます。半導体製造に必要な超純水の配管は、PVDF などのフッ素ポリマーで作られた、またはフッ素ポリマーでコーティングされたパイプ、ジョイント、処理チューブを使用して行われます。半導体製造では、清浄度要件と過酷な条件 (極端な温度、真空、高強度プラズマ、強力な化学物質) が組み合わさるため、シール、熱伝達、ポンプの潤滑用途にフッ素ポリマーが必要になることがよくあります。
最後に、Everflon™ 樹脂とコーティングにより、通信機器 (携帯電話基地局、ケーブルなど) が 5G に必要な速度、容量、低遅延を実現できます。フッ素ポリマーは、エッチング装置のシールや、リソグラフィー処理のフォトマスクの保護フィルムとしても使用されています。
