半导体行业依赖于精密工艺,并且需要超洁净的制造环境,因为它对污染的容忍度非常低。因此,使用有助于最大程度减少污染的材料至关重要。因此,半导体行业依赖 恒氟隆™ 含氟聚合物用于湿法加工设备、流体输送系统和晶圆处理工具。恒氟隆™ 含氟聚合物用于工艺的流体处理部分,其中使用超纯类型,可浸出物含量非常低,可以承受蚀刻工艺中使用的刺激性化学品。减少颗粒、金属污染物和密封损坏引起的排气污染是半导体制造商的主要目标。
还需要高纯度 PFA 来保持制造中使用的流体的超纯性。由于半导体制造中的生产良率更高,它可以制造更大的晶圆,因此可以制造出不断改进且价格合理的微芯片和 LED。
此外,由于需要在加工区域保持清洁的空气,因此需要使用基于 恒氟隆™ 氟聚合物膜的高性能过滤器,以最大限度地减少颗粒、化学品和金属(例如来自管道或其他设备)的污染。半导体制造所需的超纯水管道使用由恒氟隆™氟聚合物(例如 PVDF)制成或涂有氟聚合物的管道、接头和加工管进行。对于半导体制造而言,将清洁度要求与严苛条件(极端温度、真空、高强度等离子体、刺激性化学品)相结合通常意味着需要使用氟聚合物进行密封、传热和泵润滑应用。
最后,恒氟隆™ 树脂和涂层可确保通信设备(即蜂窝塔、电缆)达到 5G 所需的速度、容量和低延迟。氟聚合物还可用于蚀刻设备的密封件以及光刻处理中光掩模上的保护膜。