Полупроводниковая промышленность опирается на точные процессы и требует сверхчистой среды, в которой происходит производство, поскольку она имеет очень низкую толерантность к загрязнению. Поэтому использование материалов, которые способствуют минимизации загрязнения, имеет важное значение. В результате полупроводниковая промышленность опирается на фторполимеры Everflon™ для оборудования для влажной обработки, систем транспортировки жидкостей и инструментов для обработки пластин. Фторполимеры Everflon™ используются в части обработки жидкостей процесса, где используются сверхчистые типы с очень низким содержанием выщелачиваемого материала, которые могут выдерживать агрессивные химикаты, используемые в процессе травления. Снижение загрязнения частицами, металлическими примесями и газовыделения, вызванного ухудшением уплотнения, являются основными целями производителей полупроводников.
Высокочистый PFA также необходим для поддержания сверхчистых жидкостей, используемых в производстве. Он позволяет производить более крупные пластины и, следовательно, постоянно улучшать и делать доступные микрочипы и светодиоды из-за более высокой производительности в производстве полупроводников.
Кроме того, необходимость поддержания чистой атмосферы в зонах обработки требует использования высокопроизводительных фильтров, основанных на фторполимерных мембранах Everflon™, которые минимизируют загрязнение твердыми частицами, химикатами и металлами (например, от трубопроводов или другого оборудования). Трубопровод сверхчистой воды, необходимой для производства полупроводников, осуществляется с использованием труб, соединений и технологических трубок, изготовленных из фторполимеров или покрытых ими, например, ПВДФ. Для производства полупроводников сочетание требований к чистоте с жесткими условиями (экстремальные температуры, вакуум, высокоинтенсивная плазма, агрессивные химикаты) часто означает, что фторполимеры требуются для герметизации, теплопередачи и смазки насосов.
Наконец, смолы и покрытия Everflon™ обеспечивают коммуникационному оборудованию (например, вышкам сотовой связи, кабелям) достижение скоростей, емкости и низкой задержки, которые требуются для 5G. Фторполимеры также можно встретить в уплотнениях травильного оборудования и в качестве защитной пленки на фотошаблонах при литографической обработке.
