특히 반도체 산업의 경우, Everflon™ 불소 폴리머는 해당 산업에서 그 사용이 필수적인 몇 가지 특성을 가지고 있습니다. 이들은 공정에서 사용되는 모든 화학 약품과 우수한 호환성을 가지며, 극도로 깨끗한 환경을 유지하기 위한 필터와 반도체 처리 장비(습식 처리 장비, 유체 수송 시스템 및 웨이퍼 핸들링 도구)에 사용될 때 높은 유수 거절성을 갖습니다.
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반도체 산업은 정밀 공정에 의존하며, 제조가 이루어지는 환경은 초청정이어야 합니다. 이는 오염에 대한 허용도가 매우 낮기 때문입니다. 따라서 오염을 최소화하는 데 기여하는 재료의 사용이 필수적입니다. 그 결과, 반도체 산업은 습식 처리 장비, 유체 수송 시스템 및 웨이퍼 핸들링 도구에 Everflon™ 불소 폴리머를 의존해 왔습니다. Everflon™ 불소 폴리머는 유체 처리 과정에서 사용되는데, 이때는 초순도 타입이 적용됩니다. 이러한 초순도 제품은 용출물 함량이 매우 낮고, 식각 공정에서 사용되는 가혹한 화학 물질에도 견딜 수 있습니다. 입자, 금속 오염물, 그리고 씰 열화로 인한 가스 방출로 인한 오염을 줄이는 것은 반도체 제조사의 주요 목표입니다. |
| 고순도 Everflon™ PFA는 제조 과정에서 사용되는 유체를 초순수 상태로 유지하기 위해서도 필요합니다. 이는 더 큰 웨이퍼를 가능하게 하며, 그 결과 반도체 제조에서의 생산 수율이 높아짐에 따라 지속적으로 개선되고 접근 가능한 마이크로칩과 LED를 만들어냅니다. |
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Everflon™ 불소 폴리머 수지와 코팅은 통신 장비(예: 셀 타워, 케이블)가 5G에 필요한 속도, 용량 및 낮은 지연 시간을 달성하도록 보장합니다. Everflon™ 불소 폴리머는 또한 식각 장비의 씰과 리소그래피 공정에서 포토마스크의 보호 필름으로도 사용됩니다. |
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