特に半導体産業において、Everflon™フッ素樹脂は同産業にとって不可欠な用途を実現する数々の特性を備えています。これらの樹脂は、工程で使用されるすべての化学薬品と優れた適合性を示し、フィルターに使用した場合には高い撥油・撥水性を発揮し、極めて清潔な環境を維持するのに役立ちます。半導体製造装置（ウェットプロセス装置、流体輸送システム、ウェハーハンドリングツール）にも応用されています。
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半導体産業は精密な工程に依存しており、製造が行われる環境には超高潔度が要求されます。なぜなら、汚染に対する許容度が非常に低いからです。そのため、汚染を最小限に抑えるのに寄与する材料の使用が不可欠です。その結果、半導体産業では、ウェットプロセス装置、流体輸送システム、ウェハーハンドリングツールに Everflon™フッ素樹脂が広く利用されています。
Everflon™フッ素樹脂は工程の流体処理部分に使用されており、ここでは超高純度タイプが採用されています。これらは溶出物含有量が極めて少なく、エッチング工程で使用される強烈な化学薬品に耐えることができます。粒子や金属汚染物質による汚染、およびシールの劣化に起因するガス放出を低減することは、半導体製造業者の主な目標です。 |
| 高純度の Everflon™ PFA も、製造に使用される流体を超高純度に保つために必要です。これにより、より大きなウェハーの使用が可能となり、半導体製造における生産収率の向上を通じて、性能が不断に向上し、かつ価格が手頃なマイクロチップと LED の実現に貢献しています。 |
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Everflon™フッ素樹脂とコーティングは、通信機器（例：携帯電話基地局、ケーブル類）が5Gに必要とされる速度、容量、低遅延を実現することを保証しています。また、Everflon™フッ素樹脂は、エッチング装置のシールや、リソグラフィー工程におけるフォトマスクの保護膜としても使用されています。 |
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