Die Halbleiterindustrie ist auf Präzisionsprozesse angewiesen und erfordert eine ultrareine Umgebung, in der die Fertigung stattfindet, da sie eine sehr geringe Kontaminationstoleranz aufweist. Daher ist die Verwendung von Materialien, die zur Minimierung von Kontaminationen beitragen, unerlässlich. Daher verlässt sich die Halbleiterindustrie auf Everflon™-Fluorpolymere für Nassverarbeitungsgeräte, Flüssigkeitstransportsysteme und Waferhandhabungswerkzeuge. Everflon™-Fluorpolymere werden im Flüssigkeitshandhabungsteil des Prozesses verwendet, wo ultrareine Typen mit sehr geringem auslaugbarem Inhalt verwendet werden, die den aggressiven Chemikalien standhalten können, die im Ätzprozess verwendet werden. Die Reduzierung der Kontamination durch Partikel, metallische Verunreinigungen und Ausgasungen durch Dichtungsverschlechterung sind wichtige Ziele der Halbleiterhersteller.
Hochreines PFA ist auch erforderlich, um die bei der Herstellung verwendeten Flüssigkeiten ultrarein zu halten. Es ermöglicht größere Wafer und damit immer bessere und erschwinglichere Mikrochips und LEDs aufgrund höherer Produktionserträge bei der Halbleiterherstellung.
Darüber hinaus erfordert die Notwendigkeit, in den Verarbeitungsbereichen eine saubere Atmosphäre aufrechtzuerhalten, den Einsatz von Hochleistungsfiltern auf Basis von Everflon™-Fluorpolymermembranen, die die Kontamination durch Partikel, Chemikalien und Metalle (z. B. aus Rohrleitungen oder anderen Geräten) minimieren. Die Leitung von ultrareinem Wasser, das für die Halbleiterherstellung benötigt wird, erfolgt über Rohre, Verbindungen und Verarbeitungsschläuche, die aus Fluorpolymeren bestehen oder mit diesen beschichtet sind, z. B. PVDF. Bei der Halbleiterherstellung sind aufgrund der hohen Sauberkeitsanforderungen und der rauen Bedingungen (extreme Temperaturen, Vakuum, hochintensive Plasmen, aggressive Chemikalien) häufig Fluorpolymere für Dichtungs-, Wärmeübertragungs- und Pumpenschmieranwendungen erforderlich.
Schließlich sorgen Everflon™-Harze und -Beschichtungen dafür, dass Kommunikationsgeräte (z. B. Mobilfunkmasten, Kabel) die Geschwindigkeiten, Kapazitäten und geringen Latenzen erreichen, die 5G erfordert. Fluorpolymere finden sich auch in Dichtungen von Ätzgeräten und als Schutzfolie auf Fotomasken bei der Lithografieverarbeitung.
